글로벌 4대 반도체 장비기업 국내 상륙…ASML 화성서 첫 삽

반도체 장비 기업 국내 투자 확대

국내 반도체 업계 기술 경쟁력 확보

지난해 11월 열린 ASML 화성 반도체 클러스터 조성 업무 협약식.ⓒ뉴시스

글로벌 반도체 장비 시장에서 60% 이상의 점유율을 차지하는 상위 4대 기업이 모두 한국에상륙한다.

이에 따라 국내 반도체 업계의 기술 경쟁력 확보에 큰 도움이 될 것으로 기대된다.

15일 산업통상자원부에 따르면 16일 오전 경기도 화성에서 ASML사(社) 화성 뉴 캠퍼스(New Campus) 기공식이 개최된다.

산업부에서는 문동민 무역투자실장이 참석해 ASML사의 노광장비 재(再)제조․트레이닝 센터 착공을 축하할 예정이다.

행사에는 주최측인 ASML사의 피터 베닝크(Peter Wennink) CEO가 직접 참석한 가운데 김동연 경기도지사, 정명근 화성시장, 이원욱 국회의원(경기화성을), 수요기업 등 관계자 160여명이 참석한다.

ASML사는 주로 노광장비를 생산하는 세계 반도체 장비 분야 시가총액 1위 기업이다.

초미세 공정을 구현하기 위해 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 사실상 독점적으로 생산해 공급하고 있다.

이번 화성 뉴 캠퍼스를 통해 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 노광장비와 관련한 부품 등의 재제조센터와 첨단기술을 전수하기 위한 트레이닝 센터, 체험관 등을 건립한다는 계획이다.

산업부는 해당 시설의 한국 유치를 위해 2020년부터 경기도, 화성시, 대한무역투자진흥공사(KOTRA) 등과 함께 ASML사와 긴밀히 협력해왔다.

지난해 11월에는 관계기관간 'ASML 화성 반도체 클러스터 조성을 위한 투자협약'이 체결된 바 있다.

최근에는 차세대 EUV 장비 규제 개선 발표 등 한국 투자에 걸림돌이 되는 규제를 지속 완화하기도 했다.

규제 개선으로 신소재 재질의 배관에 대해 안전성 검토 후 가스상세기준을 개정해 국내도입이 가능하게 됐다.

이번 화성 뉴 캠퍼스 조성을 통해 글로벌 반도체 장비업계에서 높은 위상을 차지하는 ASML사와 국내 반도체 기업과의 협력이 더욱 긴밀해졌다는 평가다.

특히 EUV 노광장비 등 첨단장비 관련 소재·부품 공급망이 한층 강화될 것으로 보인다.

문동민 산업부 무역투자실장은 "이번 화성 뉴 캠퍼스를 통해 건립되는 재제조센터와 트레이닝 센터 이상의 후속적 투자를 한국으로 유치하기 위해 ASML社와 지속적인 협력 채널을 유지하고 필요한 지원을 다할 것이"라고 밝혔다.

한편 산업부는 앞으로도 규제완화, 인센티브 강화 등의 외국인투자 환경 개선 추진과 함께 국가경쟁력 강화에 기여하는 첨단기업의 투자유치 노력을 지속할 예정이다.