에기평, 반도체 공정 에너지 효율 혁신 기업 사업화 지원 방안 모색

엘오티베큠 연구현장 방문

한국에너지기술평가원은 11일 에기평이 지원하는 에너지 수요 관리 기술 개발을 수행 중인 엘오티베큠(경기 오산)을 방문해 연구와 산업 현장의 고충을 이해하고 협력 방안을 논의했다.ⓒ에기평

한국에너지기술평가원은 11일 에기평이 지원하는 에너지 수요 관리 기술 개발을 수행 중인 엘오티베큠(경기 오산)을 방문해 연구와 산업 현장의 고충을 이해하고 협력 방안을 논의했다고 12일 밝혔다.

에기평은 산업 공정 에너지 효율화와 탄소 중립 이행 등을 위해 에너지 수요 관리 기술 개발에 약 2000억원 규모의 예산을 지원하고 있다.

엘오티베큠 연구현장에서 에기평은 산업용 전력의 20%를 사용하는반도체 제조 등 전자·통신 분야의 에너지 절감을 위해 지원 중인 진공 시스템 기술 개발 현황을 확인하고 계획을 점검했다.

주관연구개발기관인 엘오티베큠은 현 반도체 공정 주력 제품인 배기 속도 분당 3만 리터(ℓ)급 시제품의 설계·제작을 진행 중이다. 참여기관과 협력해 고효율 진공 시스템 요소기술 개발에 박차를 가하고 있다.

엘오티베큠은 세계적인 진공펌프 장비사로 연간 2500억원 상당의 매출을 기록 중이며 국내 유수 반도체 기업 등에 진공펌프를 공급해 왔다.

연구 개발 과제는 기존 진공시스템 소비 에너지의 20% 절감을 추진 중이다. 이를 통해 질소 사용량 감소 등 운영비용 절감과 탄소배출 감축이 예상된다.

이승재 에기평 원장은 "앞으로 확대될 반도체 생산 공정에서 에너지 절감은 필수적으로 반도체 호황과 맞물려 탄소중립 이행에 크게 이바지할 것으로 기대된다"며 "해당기업의 우수한 기술력을 바탕으로 기후위기 극복을 위한 에너지 효율 혁신과 조기 상용화를 적극 지원하겠다"고 밝혔다..