미국과 네덜란드가 중국에 대한 추가적인 반도체 장비 수출 제한 조치를 발표할 것이라고 로이터 통신이 29일(현지시간) 보도했다.
보도에 따르면 네덜란드 정부는 30일 반도체 기술의 중국 수출을 금지하는 규정을 발표할 예정이다. 규제 대상에는 세계 최고의 노광 장비 기술을 보유한 업체 ASML의 심자외선(DUV) 노광 장비 중 고급 제품이 포함될 것으로 알려졌다.
앞서 네덜란드 정부는 2019년부터 ASML의 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비의 중국 수출을 금지했으며, 지난 3월에는 EUV보다 이전 세대 기술 제품으로 그동안 수출을 허용했던 DUV 노광장비에 대한 수출 규제도 예고한 바 있다.
미국 정부도 6개 중국 시설에 대해 반도체 장비를 수출할 시 사전 승인을 받도록 하는 새로운 규정을 준비하고 있는 것으로 전해졌다.
한 소식통은 "미국산 부품 비율이 낮은 제품도 수출 승인을 받도록 할 방침"이라고 전했다.
ASML의 노광장비에도 미국산 부품이 포함됐기 때문에 새 규정이 시행되면 DUV 노광장비 중 하위 제품들 또한 영향을 받을 것으로 전망된다. ASML은 당초 DUV 노광장비 가운데 신형 제품들이 규제 대상이 될 것으로 전망한 바 있다.
미국은 지난해 10월 중국의 반도체 생산 기업에 대한 미국산 첨단 반도체 장비 판매를 사실상 금지하고 인공지능(AI) 및 슈퍼컴퓨터에 사용되는 첨단 반도체에 대한 수출을 제한하는 수출 통제 조치를 공식 발표했다.