아주대, 차세대 반도체 측정 '전자현미경 코팅 장비 및 공정 기술' 기술이전

전자현미경 활용 위한 전처리 장비 핵심 기술…총 11.75억원 규모

(왼쪽부터) 오일권 아주대 교수, 정재학 씨엔원 대표, 이한보람 인천대 교수. ⓒ

아주대 오일권 교수 공동 연구팀이 전자현미경 측정을 위한 코팅 장비 및 공정 기술을 개발해 관련 기업에 기술이전했다. 기술이전 규모는 총 11억7500만원이다.

20일 아주대학교는 아주대 오일권 교수(지능형반도체공학과·전자공학과)와 인천대 이한보람 교수(신소재공학과) 연구팀이 주사전자현미경(SEM) 및 투과전자현미경(TEM)의 선명한 측정을 위한 3차원 전도성 코팅 방법을 개발해 이를 관련 기업에 기술이전했다고 밝혔다.

연구팀이 개발한 기술은 전자현미경 활용을 위한 전처리 장비의 핵심 기술이다. 이 기술은 100℃ 이하의 저온에서 샘플 표면에 전도성금속 박막을 형성할 수 있는 원자층 증착 공정(ALD)을 이용, 미세한 요철이 많거나 복잡한 3차원 구조에서도 전도성 박막을 매우 얇고 균일하게 코팅할 수 있게 한다.

이에 전자현미경 측정 시 샘플 표면의 변질이나 이미지 왜곡이 없는 선명한 현미경 이미지를 얻을 수 있다. 또 고온 처리가 필요 없어, 열로 인한 샘플 손상의 우려가 없다는 장점을 가진다.

반도체 원자층증착(ALD, Atomic Layer Deposition)은 원자층을 쌓아 올려 막을 만드는 적층 방식으로, 반도체 집적도를 높이기 위한 궁극의 기술로 주목받고 있다.

해당 기술은 반도체 연구 장비를 생산하고 있는 기업 씨엔원(CN1)으로 이전됐다. 씨엔원은 반도체 원자층증착(ALD) 연구 장비를 생산하는 반도체·디스플레이 전문 장비 회사로, 국내 대학 및 연구기관과 삼성전자 등의 대기업에 장비를 공급해왔다.

2008년 설립된 이 회사는 주로 반도체 양산 전 단계의 R&D 시장을 공략해왔으며, 반도체뿐 아니라 2차전지 등으로 사업 영역을 확장해 가고 있다.

오일권 아주대 교수는 "이번에 개발한 기술을 활용하면 기존 방식의 코팅 기술로는 만들기 어려웠던 새로운 방식의 측정 샘플을 제작할 수 있다"며 "새로운 패러다임의 반도체 기술 개발을 위한 신시장이 창출될 것으로 본다"라고 전했다.

기술이전은 대학 내 연구진이 발명한 특허, 프로그램, 노하우 등을 기업에서 활용할 수 있도록 전수하는 과정을 말한다. 아주대는 기술이전과 교수창업 등을 통해 대학 내 연구진의 연구성과가 널리 활용될 수 있도록 다각도의 지원 체계를 구축하고 있다. 이러한 노력과 지원을 통해 아주대는 지난 3년간 기술사업화 수입 107억2000만원(178건, 2020-2022년)을 기록하는 등 꾸준한 성과를 내고 있다.

이번 기술이전은 ‘2023년도 지역산업연계 대학 Open-Lab 육성 지원 사업’의 성과로, 아주대 공동 연구팀과 씨엔원은 앞으로 관련 기술에 대한 공동 연구를 이어갈 계획이다.