100% 수입 의존 반도체 공정용 나노급 필터 자립 생산 돌입

시노펙스, '소부장 협력모델' 지원으로 생산 설비 준공

이승렬 산업통상자원부 산업정책실장이 지난달 11일 서울 강남구 섬유센터에서 열린 제38회 섬유의 날 기념식에 참석해 축사를 하고 있다.ⓒ뉴시스

전량 수입에 의존하던 반도체 세정 공정용 나노(㎚)급 필터의 국내 생산 공장이 준공됐다.

산업통상자원부는 17일 나노급 필터 생산 기업인 시노펙스 동탄 공장에서 신규 생산 라인 준공식에 참석했다. 나노급 필터는 반도체 세정용 화학 물질의 불순물을 정제하기 위한 필터로, 필터 성능이 반도체 수율과 직결된다.

반도체 선폭의 미세화에 따라 초미세 오염 물질을 제거하는 세정 공정의 중요성이 부각되고 있다. 그동안 세정 공정의 핵심 부품인 나노급 필터는 전량 수입에 의존하고 있었다.

하지만 이번 생산라인 준공으로 국내 수요 100% 이상의 생산 능력을 가진 공장을 국내에 확보할 수 있게 되었다. 시노펙스의 이번 성과는 수요-공급기업 간 상생협력이 있었기에 가능했다.

국내 반도체 세정 장비사(社)들은 공급망 리스크 완화를 위해 시노펙스에 기술개발을 요청했다. 시노펙스는 국내 장비社에 고품질 나노필터 공급을 위해 기술개발에 착수했다.

산업부는 '소부장 협력모델'을 통해 연구개발(R&D) 등을 신속히 지원해 수요-공급기업의 협력을 뒷받침했다.

소부장 협력모델은 소부장 핵심 품목의 조기 국산화를 위해 수요-공급기업 간 협력을 전제로 연구개발(R&D), 세제·금융, 규제 완화 등을 범부처 패키지로 지원하는 사업이다.

한편 준공식에 이어 밸류체인으로 상호 연결된 수요-공급기업이 참석하는 '반도체 소부장 수요-공급기업 간담회'를 개최했다.

간담회에서는 ▲기술 선점을 위한 공동R&D 협력 ▲반도체 핵심 소부장의 국내 생산 촉진 협력 ▲글로벌 통상 환경 변화에 따른 대응 등 반도체 초격차 경쟁력 확보 및 공급망 안정화를 위한 협력 방안을 논의했다.

이승렬 산업부 산업정책실장은 "첨단 산업 경쟁력 확보 및 공급망 강화를 위해서는 수요-공급기업 간 협력이 중요하다"며 "지난 10일 '소부장 특별법' 개정으로 '소부장 특별회계'가 5년 연장되고 '소부장 및 공급망 안정화 특별회계'로 확대 개편된 만큼 정부는 첨단산업 초격차 R&D와 공급망 안정성 확보를 위한 투자를 지속 확대해 나가겠다"고 강조했다.