환경부, 반도체용 초순수 국산화 위한 ‘실증 플랜트’ 착공

SK실트론 공장서 착공식 개최

초순수 실증 플랜트 착공 예정지. ⓒ환경부

반도체용 초순수 생산기술 국산화 첫걸음으로 ‘고순도 공업용수(초순수) 실증 플랜트 착공식’이 16일 오후 경북 구미 SK실트론 생산 공장에서 열렸다.

환경부와 한국수자원공사, 한국환경산업기술원이 함께하는 이번 사업은 오는 2025년까지 ▲초저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치 ▲초저농도 용존산소 제거용 탈기막 ▲고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 기술 등 고순도 공업용수 전반에 걸친 국산화 연구를 수행한다.

환경부는 “이번 실증 플랜트는 초순수 생산기술을 신속하게 개발하고 성능을 확인할 수 있도록 반도체 소재 생산기업인 SK실트론 공장 내에 설치했다”며 “해외기술과 국내기술을 직접 비교하고 실제 초순수를 공급해 관련 기술의 실적을 확보한다는 의미가 있다”고 설명했다.

한국수자원공사와 연구개발 참여기업은 2025년까지 하루 2400t의 초순수를 생산하는 실증 플랜트를 설치‧운영한다. 관련 생산공정의 설계‧운영 기술 100%, 시공 기술 및 핵심기자재 60% 국산화를 목표로 하고 있다.

초순수(Ultra Pure Water)는 초미세 회로로 구성된 반도체 표면에서 각종 부산물과 오염물 등을 세척하는 데 사용되는 필수 공업용수다.

초순수 내에 불순물이 거의 없는 상태를 유지해야 하는 최고 난이도 수처리 기술이 필요하다. 이 때문에 세계적으로 일부 선진국만 초순수 생산기술을 보유하고 있다.

그동안 우리나라 반도체 기업에서는 반도체용 초순수 생산과 공급을 일본, 프랑스 등 해외기술에 의존해 왔다.

반도체 외에도 전자, 의약, 철강 등 주요 산업에서 사용되는 고순도공업용수 분야 세계 시장 규모는 2024년 23조 원 규모까지 성장할 것으로 전망된다. 이 가운데 반도체용 초순수 시장은 세계 약 4조4000억원, 국내 1조4000억원으로 추산된다.

정부는 2030년까지 510조원 이상 투자를 통해 반도체 제조 기술 초격차를 이어가 종합반도체 강국으로 도약하기 위한 ‘한국형(K) 반도체 전략’을 발표한 바 있다.

한정애 환경부 장관은 “선진국 간 전쟁에 가까운 산업기술패권 경쟁을 벌이는 상황에서 독자적인 기술경쟁력을 확보하지 못한다면 반도체 공급망에서 소외될 가능성이 있다”며 “반도체 품질과 직결되는 공업용수이자 핵심소재임에도 불구하고 일본, 미국, 프랑스 등 일부 선진국에만 의존하던 반도체용 초순수 생산기술 자립을 위해 환경부가 앞장설 것”이라고 말했다.